ANRIC AT-OZONE 臭氧發生器功能和規格
特點
用于非循環臭氧流動的高容量臭氧破壞器。消除機組廢氣流中的臭氧
帶自動控制的 O2 入口截止閥
電暈電池由帶陶瓷電介質的鋁制成
低流量時重量比 12%，高流量時為 6%
工作頻率： 5，000 – 30，000 Hz
自動臭氧控制需要3-24V輸入信號
臭氧內部
ATOzone（臭氧發生器）系統利用高質量的組件來產生一個整體系統，以非常小的外形尺寸提供高濃度的臭氧。
該系統不需要昂貴且笨重的水冷，只需內置高速風扇即可保持漿池冷卻，即使在長時間或持續使用期間也是如此。
純氧從背面進入工具。氧氣壓力使用前面板安裝調節器進行調節，然后送入電暈漿池以產生臭氧。然后將臭氧在內置的臭氧破壞裝置和系統前端的臭氧輸出之間分配。如果未使用臭氧（即未流過 ALD 系統或其他設備），則所有臭氧都會進入銷毀單元，流出的再次是純 O2，它通過流量控制器引導，然后流向后面的排氣口。如果臭氧被利用，那么臭氧的凈流量是輸出而不是通過破壞。
有幾種方法可以操作系統。 您可以手動打開系統以輸出 O2 或 O3（通過前面板上的開關），也可以使用 3-24V 信號遠程打開和關閉 O3/O3 輸出。
